国内首台自主研发的场发射扫描电镜亮相BCEIA 2015并获得金奖

　　仪器信息网讯 2015年10月27日，第十六届北京分析测试学术报告会及展览会(BCEIA 2015)在北京国家会议中心隆重开幕。本次展会特别展示了由中科科仪承担的国家重大科学仪器设备开发专项《场发射枪扫描电子显微镜开发和应用》项目的实施成果——国内首台自主研发的肖特基场发射枪扫描电镜产品KYKY-EM8000F。

肖特基场发射枪扫描电镜KYKY-EM8000F

　　在《场发射枪扫描电子显微镜开发和应用》项目的实施过程中，中科科仪突破了30kV场发射电子枪、低像差物镜设计与制造等关键技术，实现国产场发射枪扫描电镜零的突破，并且产品的分辨率优于1.5nm@30kV。KYKY-EM8000F场发射枪扫描电镜的研制成功，是我国电子光学研究水平的集中体现，将成为我国电子光学领域的重要成果，对摸索我国高端大型科学仪器的发展模式具有重要意义。

　　在KYKY-EM8000F展示期间，科技部、中国分析测试协会的相关领导对于该产品都给予了极大的关注，并提出了相应的指导意见。

　　科技部侯建国副部长、张泽院士、吴学梯司长、吴波尔原司长、原科技平台中心副主任张渝英等一行人来到中科科仪展台前参观，详细了了解KYKY-EM8000F场发射扫描电镜的研制过程，对国内首台场发射扫描电镜的研制成功表示祝贺，勉励中科科仪在将来的产品开发中取得更大成绩。

　　BCEIA2015大会主席、国务院参事、科技部原副部长刘燕华先生等一行人也特地来到中科科仪承担的国家重大科学仪器设备开发专项展台参观，详细了解KYKY-EM8000F场发射扫描电镜的情况，祝贺中科科仪在电镜开发方面取得的进展，强调一定要爱护好中科科仪这个国产电镜的唯一品牌，指出产品开发要以市场为导向，以服务用户为目标，注重产业化，把科学仪器自主创新摆在突出位置。

　　同时在本次展会上，KYKY-EM8000F场发射枪扫描电镜还在31家单位申报的41个项目中脱颖而出，荣获了“BCEIA 金奖”。

“BCEIA金奖”颁奖现场

　　据中科科仪电镜部孙占峰研究员介绍，KYKY-EM8000F的销售台数已超过5台。首台产品于2014年11月21日正式交付给中国科学院大学，同年12月10日，双方共建了中国科学院大学—北京中科科仪股份有限公司“电子显微技术”联合实验室，为KYKY-EM8000F的应用研究搭建了平台。

　　中国科学院大学在该仪器上已经开展了“国家自然基金”课题(51272281)以及“中国科学院科研装备项目”(yz201356)的材料形貌研究，对材料的观测尺度涵盖了微米级到纳米级，分析了掺杂碳材料的形貌演化规律，发现了碳材料的生长奇异现象。获得的图像显示了在碳沉积过程中掺杂金属前驱体，会使金刚石发生纳米化;在生长驱动力增大的条件下，无定形碳会发生分叉和交叉生长，这种现象在以往的碳材料研究中从未报道过。

中科科仪电镜部孙占峰研究员

　　另外据介绍，《场发射枪扫描电子显微镜开发和应用》项目在新应用方法或解决方案、样品前处理设备、可拓展仪器应用领域的关键部件和数据库等方面也进行了卓有成效的研究，如进行了场发射枪扫描电镜在半导体集成电路的检测技术研究;建立了超过100万兆的秀丽隐杆线虫连续切片扫描电镜成像原始数据库;编制了环境空气-大气粒子(PM2.5)形貌观测与无机元素分析等行业标准建议稿;成功开发了连续超薄切片收集装置和微操作装置等样品前处理和功能拓展装置等。

　　通过该项目的实施，中科科仪和合作单位已申请并受理国家发明专利11项，软件著作权2项，发表相关论文2篇，起草相关行业标准建议稿2项;形成了场发射枪扫描电镜的技术资料1套，建立了包括院士、教授、高级工程师在内、覆盖国内扫描电镜研制和应用优势单位的人才队伍，培养了满足国家重大需求的高精尖仪器和电子显微学专业人才，这将为相关电子光学仪器的开发和应用提供有力的技术支撑。

编辑：秦丽娟