冷场发射扫描电镜SU8220应用实例：RuO2 颗粒观察

        RuO2 颗粒可被应用于厚膜电阻器的导电材料，它的性能由颗粒的形状及晶粒取向决定。左图为上探头拍摄的LABSE（低角度BSE）图像，可清晰地观察出直径约50nm的RuO2颗粒。右图为顶探头拍摄的同一区域的HABSE（高角度BSE）图像，图中形貌信息相对LABSE图像有所减少，但可清晰地观察出RuO2晶粒取向决定的通道衬度。

       左图为前面HABSE信号的高倍图像，尽管有合适的对比度但清晰度不够。为了获得更高分辨率的图像，通过减速功能可以减小色差，通过能量过滤器可抑制SE信号获得BSE信号。右图在保持对比度的情况下提高了空间分辨率。因此结合减速功能和能量过滤器的独特技术可获得低加速电压高分辨BSE图像。  

该产品更多信息请关注:http://www.instrument.com.cn/netshow/C220216.htm
 

关于日立高新技术公司: 
　　日立高新技术公司是一家全球雇员超过10,000人，有百余处经营网点的跨国公司。企业发展目标是“成为独步全球的高新技术和解决方案提供商”，即兼有掌握最先进技术水准的开发、设计、制造能力和满足企业不同需求的解决方案提供商身份的综合性高新技术公司。日立高新技术公司的生命科学系统本部，通过提供高端的科学仪器，提高了分析技术和工作效率，有力推进了生命科学领域的研究开发。我们衷心地希望通过所有的努力，为实现人类光明的未来贡献力量。

　　更多信息请关注日立高新技术公司网站：http://www.hitachi-hitec.cn/