设备: 日立环境型原子力显微镜 AFM5300E
日立扫描电子显微镜 SU3500
背景及目的
SEM是检测电子束扫描样品所生成的2次电子,背闪射电子,特征X射线等信号,得出样品结构,成分,结晶特性,元素分布等信息。另一方面,SPM是利用探针和样品表面的相互作用,表征高精度样品形貌及硬度和摩擦力,吸附力等敏感的力学物理特性及电流,电气阻抗,表层电位,压电特性,磁性等电磁物理特性。在这里我们介绍,包含氧化铅和硫磺的橡胶样品的SEM背闪射电子图像和X射线面分布像及利用SPM的形貌像(AFM像)和相位像(Phase像)的观察结果。
1) Phase像
根据样品表面的硬度和吸附力对比,利用共振悬臂的相位变化成像物理特性的方法。
图1 SPM、SEM的检测信息和橡胶样品中的应用
2) 观察结果
图2 橡胶样品的SEM、SPM观察同一视野结构观察
在背闪射电子像(BSE像)里重元素的对比度高,EDX元素分析得知这个区域含有铅元素和氧元素。SPM的Phase像观测中我们选用两类橡胶的弹性有较大差别的冷却温度-10℃,致使微区当中明显区分两种橡胶分布。SEM和SPM联系起来,表面的形貌和元素,结构,各种物理特性(力学特性和电磁特性)的面分析信息相结合,给基础研究,产品研发等提供更多观察及分析手段。
关于日立环境型原子力显微镜 AFM5300E,请点击:
http://www.instrument.com.cn/netshow/SH102446/C244320.htm
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关于日立高新技术公司:
日立高新技术公司,于2013年1月,融合了X射线和热分析等核心技术,成立了日立高新技术科学。以“光”“电子线”“X射线”“热”分析为核心技术,精工电子将本公司的全部股份转让给了株式会社日立高新,因此公司变为日立高新的子公司,同时公司名称变更为株式会社日立高新技术科学,扩大了科学计测仪器领域的解决方案。日立高新技术集团产品涵盖半导体制造、生命科学、电子零配件、液晶制造及工业电子材料,产品线更丰富的日立高新技术集团,将继续引领科学领域的核心技术。
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[来源:日立高新技术公司]
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