简单做人,用心做事!
中科院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室周常河、贾伟等人近期成功研制出高精度长程光栅的加工装置,其主要优点是速度快、精度高。利用该装置已加工出40微米、20微米、10微米、5微米等多种周期的高精度光栅。研制出的5微米周期光栅长度达到210mm,周期均匀性实验控制精度优于亚纳米级。该装置可以拓展加工米级光栅甚至更长光栅,研制的高精度长程光栅将显著提高我国在此领域的技术水平。
光栅尺是通过物体移动时,采用莫尔条纹或相关技术,通过移动光栅的计数,实现精密测量的技术,可以看作观测物体精密移动的“眼睛”。光栅尺以其小巧简单的结构,广泛应用于机床加工,电控移动平台等精密移动测量,其精度直接决定了精密机床的加工水平和精密移动平台的水平。光栅尺的核心部件就是高精度光栅,但高精度的光栅国外对我国实行禁运,特别是具有纳米精度的长程光栅,是我国高精度光栅尺产业必须解决的关键难题,也是目前纳米制造技术面临大尺度纳米加工精度的极大挑战。本次在高精度长程光栅研制方面取得的突破使得我国具有了制造高精度光栅尺光栅的能力,对我国机床高精度加工及精密移动平台等相关产业的发展具有积极推动作用。
研制成功的高精度长程光栅照片:上图:(a) 光栅长度210mm;下图:(b)显微图片,光栅周期5µm,周期均匀性实验控制精度优于0.03nm。
[来源:上海光学精密机械研究所]
2024.07.25
2024.07.24
2024.07.23
报名开启!“第六届现代地质及矿物分析测试新技术与应用”网络会议正式上线
2024.07.23
2024.07.16
2024.07.16
版权与免责声明:
① 凡本网注明"来源:仪器信息网"的所有作品,版权均属于仪器信息网,未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用。已获本网授权的作品,应在授权范围内使用,并注明"来源:仪器信息网"。违者本网将追究相关法律责任。
② 本网凡注明"来源:xxx(非本网)"的作品,均转载自其它媒体,转载目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点和对其真实性负责,且不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。如其他媒体、网站或个人从本网下载使用,必须保留本网注明的"稿件来源",并自负版权等法律责任。
③ 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起两周内与本网联系,否则视为默认仪器信息网有权转载。
谢谢您的赞赏,您的鼓励是我前进的动力~
打赏失败了~
评论成功+4积分
评论成功,积分获取达到限制
投票成功~
投票失败了~