据悉,中芯国际(Semiconductor Manufacturing International Corporation,SMIC),中国内地最大最先进的晶圆代工厂,也是世界领先的半导体代工厂之一,近日向卡尔·蔡司半导体计量部门(Carl Zeiss Semiconductor Metrology Systems)采购了多套光掩膜检验、维修及测量系统。
中芯国际采购的设备包括:蔡司AIMS系统,将用于重要节点的光掩膜检测,基于先进的电子束修复技术的蔡司MeRiT® MG系统,能够支持高级光掩膜修复,将用于修复检测到的缺陷,PROVE®测量设备将配备在于中芯国际的新生产线,用于影像定位测量。这些设备将共同作为实用的光掩膜解决方案投入使用。
卡尔·蔡司SMS CEO,Oliver Kienzle博士认为,中国的半导体市场对蔡司来说仍是新兴市场,而此次的订单对卡尔·蔡司是极其重要的。
2011-2012财年,卡尔·蔡司的营收达到41.63亿欧元,有2%的增长,其中显微镜、医疗、摄影/天文、工业测量等业务均有可观增长,但半导体计量业务却在持续下滑,而且大幅拖累了整体利润。在远紫外技术及设备上的进展,以及在中国市场的收获,或将成为蔡司半导体计量业务的两个最关键增长点。
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