日立发布SU3500新型扫描电镜实现低压高分辨

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分享： 2012/12/07 16:55:34

　　仪器信息网讯 2012年12月6日，由天美(中国)科学仪器有限公司与日立高新技术公司共同举办的“日立新一代钨灯丝扫描电镜SU3500(以下简称‘SU3500’)研讨会”在北京举办。来自国内各大高校和科研院所约30余位专家参加了此次新品研讨会。天美公司副总裁赵薇、日立高新技术公司中国事业集团先端分析仪器部部长Imada Yoshinori在研讨会上进行了致辞。日立高新电子显微镜全球应用工程师振木昌成与日立高新技术公司电镜营业部马玉娥经理对SU3500新型扫描电镜最新功能和应用进行了详细讲解，并且进行了现场实际操作演示。

左至右：天美公司副总裁赵薇，日立高新技术公司中国事业集团先端分析仪器部部长Imada Yoshinori，日立高新电子显微镜全球应用工程师振木昌成

　　扫描电镜是利用电子束“照射”样品表面，通过产生的二次电子信号成像来观察样品的表面形态。根据电子枪产生电子束的机理不同，扫描电镜主要有场发射、钨灯丝;此次推出的新品SU3500属于应用最广泛、使用最经济的钨灯丝扫描电镜。扫描电镜在低加速电压下工作具有减少或消除样品的荷电效应、增强样品的表面衬度和成分衬度以及减少样品辐照损伤等优点;因此，提高电子显微镜在低加速电压和低真空下的分辨率是扫描电镜的研究热点。

　　低加速电压下实现高分辨。通常加速电压降低，灯丝的发射电流会按比例减少，图像的亮度也会正常衰减。SU3500采用了最新开发的自动多级电子枪偏压设计，能够在特定的加速电压条件下，实现高的发射电流。与日立S-3400相比，SU3500的信噪比增强，成像质量更加优越。在加速电压为3kV时，二次电子图像分辨率可达7nm;在加速电压为5kV时，电子背散射图像的分辨率可达10nm。

　　低真空下实现不导电样品的直接观察。新设计的SU3500真空程序使真空度可达到650Pa，实时真空反馈允许在用户设定的特定压力下，保持样品室快速的真空稳定性。SU3500可变压力模式允许对处于自然状态下的潮湿、油腻和非导电样品进行观察;电子束与空气分子相撞产生的正电荷可消除样品表面的多余电荷，因此不需要进行传统的样品前处理，如干燥和镀膜。

　　SU3500的操作软件也有多项改进，使科研人员的工作效率大幅提高。例如：多模式多用途观察显示功能可以通过菜单操作选择单幅图像、双幅图像、四幅图像以及全屏图像显示;双幅图像及四幅图像显示模式可以同时显示由两种不同的探测器观察到的图像，或者为了多用途观察而合成图像。信号混合功能可以将富有样品表面细微结构信息的二次电子像和富有丰富成分信息的背散射电子像在一幅画里面叠加显示，更易于评价与分析。

　　低电压、低真空下获得极高的分辨率是SU3500最大亮点。天美公司副总裁赵薇表示，SU3500扫描电镜在加速电压为3kV时，二次电子图像分辨率达7nm;先进的3D技术以及非常便利的可视化操作，使SU3500成为目前全球最高端的钨灯丝扫描电镜。