天美和微电子所共建Park Systems原子力显微镜示范试验室

天美公司和中科院微电子所合作共建Park Systems原子力显微镜示范试验室

   Park Systems是一家起源于美国硅谷世界知名技术领先的原子力显微镜制造商。中科院微电子所是中国微电子领域的领袖之一。2012年6月18日，这两位微电子领域的巨人正式开始合作，一起进军新一代的半导体材料“石墨烯”。天美（中国）科学仪器有限公司作为Park Systems在中国的独家代理，以其雄厚的维修和应用支持力量，会为微电子所提供最优良的技术和售后服务。
    本次合作的另一大重要意义是将最为成熟的针尖增强拉曼光谱系统应用于最前沿的石墨烯研究。针尖增强拉曼光谱系统是目前研究的应用热点，英文称之为Tip Enhanced Raman Spectroscopy, 简称TERS。该技术利用表面等离子体共振现象，把原子力显微镜和拉曼光谱仪结合起来，将拉曼光谱仪的分辨率提高到了纳米尺度。Park Systems公司和Horiba Jobin Yvon公司的合作开发的TERS系统是目前全世界最为成熟稳定的。
    为了纪念这一重大进展，天美公司副总裁赵薇女士、Park Systems的全球销售总监Jessica和微电子所的金智主任共同为示范试验室的建立进行了揭幕，仪式后合影留念。三方一起为今后开展更为深入的技术合作进行了探讨，并取得了非常愉快的共识。
    石墨烯材料具有优良的物理特性和易于与硅技术相结合的特点，被学术界和工业界认为是推进微电子技术进一步发展的极具潜力的材料，其开发者获得了2010年的诺贝尔物理学奖。Park Systems生产的XE系列原子力显微镜已被成功应用于石墨烯机械和电子性能的测试，相关测量结果被发表在 Science、Nature materials和Nano Letter上。目前，中国科学院微电子研究所微波器件与集成电路研究室（四室）石墨烯研究小组在金智研究员和刘新宇研究员的带领下，正致力于研制高性能的石墨烯电子器件。随着Park Systems原子力显微镜的安装和投入使用，必将会有更多更有价值的测量结果被发掘出来。