微纳技术计量标准和标准物质研究项目启动

　　据了解，项目组在前期调研分析基础上制定了微纳结构特性量值溯源体系发展路线图。据此，该项目将在微纳几何结构计量技术研究、微纳结构化学特性计量技术研究、微纳力学特性计量技术研究和微纳计量仪器的核心器件及部件的研制4个方向开展研究。计划建立基标准装置6套、研制标准物质7类19~26种、研制计量用微纳核心器件3类和关键部件1套、建立测量系统4套与测量方法4项，初步建立较为完整的微纳技术计量传递体系，项目成果水平将达到或超过美国等发达国家现有水平。

　　微纳技术包括微纳米材料、结构、器件、系统的设计制造及测量技术，涵盖了微电子、MEMS/NEMS、纳米技术等高新技术领域，在我国战略性新兴产业发展过程中具有重要作用。近年来，微纳技术的发展对计量学提出了严峻的挑战，高准确度的微纳结构特性计量基标准、标准物质以及微纳器件和部件是保证微纳技术领域快速可持续发展的重要技术支撑。当前，我国微纳技术研究成果已与先进国家相当，产业化进程显著加快，不少产品的产量位居世界前列。但高端产品短缺数量少、品质差，缺乏市场竞争力，高水平的基础研究成果难以产业化。究其原因，主要就是微纳计量技术的研究严重滞后、计量基标准和标准物质严重匮乏，核心技术严重落后，难以支撑我国微纳技术产业化的发展。