2010年度扫描电镜技术讲座在京举办

2010年度扫描电子显微镜最新技术与实验技术讲座在京举办

　　仪器信息网讯 为了提高首都科技条件平台电镜实验人员的仪器操作水平和电镜分析水平，2010年11月23日，由北京科学仪器装备协作服务中心和北京理化分析测试学会电镜分会共同主办的“2010年度扫描电子显微镜最新技术与实验技术讲座”在北京北科大厦隆重举行。来自全国高等院校、科研机构、企事业单位的近130位从事扫描电子显微镜研究及其应用的专家学者参加了此次会议，仪器信息网亦应邀参会。

北京市电镜学会理事长张德添教授主持会议

北京科学仪器装备协作服务中心张晓强主任致辞

　　张晓强主任在致辞中说到：非常荣幸能有机会与北京市电镜学会共同举办此次电镜会议。北京科学仪器装备协作服务中心是一个实现北京地区科学仪器装备共享共用的科技平台，是北京市科学技术委员会授权的“首都科技条件平台”的总体支撑建设和运营单位。通过该平台举办一些技术交流活动，能够促进科技资源与创新需求的宣传与对接，发挥北京地区科学仪器装备资源优势，提高科学仪器装备的协作水平。最后，张晓强主任预祝此次会议能够取得圆满成功。

北京大学徐军高工

报告题目：钨灯丝、场发射SEM、FIB等应用技术技巧

　　徐军高工说到：提高扫描电子显微镜的分辨率最重要的措施之一是提高电子枪的亮度。其中，关键是要寻找电流密度很高、发射角分布非常集中且能量分散很小的电子源。目前，常用的电子枪(工作方式)主要有钨灯丝(热发射)、LaB6(肖特基发射)、单晶钨丝(冷场发射)以及附有氧化锆的钨灯丝(扩展的肖特基发射)。此外，影响扫描电镜图像分辨率的因素主要有样品的潜在衬度、电子探针的电子光学性能、电子和样品的相互作用区以及外部环境。

　　最后，徐军高工着重介绍了聚焦离子束(FIB)的四大基本功能：离子束成像、刻蚀各种图形、离子束诱导沉积、辅助气体选择刻蚀。

日立高新技术公司罗琴女士

报告题目：正确使用扫描电镜的若干技巧分享

　　罗琴女士提到：若要获得良好的扫描电镜解析，所需包括加速电压、工作距离、电子束流、样品前处理、外界干扰、图像调整以及仪器保养等诸多因素。随着加速电压的升高，图像分辨率会升高，但样品损伤、污染程度也会加大;电子信号主要包括二次电子、背散射电子、透射电子等，根据不同的样品检测要求，选择不同的电子信号;而探针电流的升高，图像信噪比也会升高，分辨率会略受影响，但样品损伤、污染程度亦会增大;适当降低探针电流、加速电压或者以背散射电子成像可降低荷电效应;样品的前处理则需考虑样品材质、形态以及观察目的。

　　同时，罗琴女士在报告中还介绍了日立公司IM-3000平面样品抛光仪以及E-3500离子抛光仪在样品前处理过程中的应用。

清华大学杨文言高级实验师

报告题目：环境扫描电子显微术在生物学和材料科学研究中的应用

　　杨文言老师在报告中指出：理想中的扫描电镜分析是指样品保持原来形态，以最简单的处理过程，实时观测样品的变化过程，得到样品真正的表面形貌。传统的扫描电子显微镜观察样品需要在高真空下进行，并且要求样品表面要有较好的导电性，为此就需要湿样品干燥、非导电样品镀膜处理，而环境扫描电子显微镜除了中和电荷外，还具有保持样品环境0-100%湿度等多种功能，但观察视角与对象有局限性，成本也会增加，应对样品特性事先有所了解。

　　在生物学研究中，对样品无需任何处理，可直接观察“活”的生物结构，如昆虫复眼、神经束断面、嗜骨细胞等。最后，杨文言老师介绍了环境扫描电镜在研究环保型粮仓杀虫剂、观察生物固沙效果、水泥沥青砂浆水硬化过程等研究中的应用。

上海易微科技有限公司李金树先生

报告题目：扫描电子显微镜主要附件的最新进展

　　李金树先生用通俗易懂的语言向大家介绍了介绍两款用于扫描电镜高真空环境下的新型纳微操纵仪的工作原理及应用领域。李金树先生谈到：运用扫描电镜纳米操纵仪，实现了在扫描电镜中操纵样品，包括拨动、搬移、旋转，对样品进行多角度观察。其移动范围：轴向0-12mm;水平方向：-120度-+120度;垂直方向：-120度-+120度。可获得力-时间、力-位移曲线，实时测试样品的力学性能。此外，它还可以与微注入功能一起使用，在扫描电镜中进行微区反应的原位观察，与FIB双束仪器一起应用，可以高效和无污染地提取由FIB制备的TEM样品薄片。

　　最后，李金树先生向大家展示了德国最新推出的Evactron除污仪产品，并介绍了其技术优势与主要应用。

北京工业大学吉元教授

报告题目：电子背散射衍射(EBSD)技术及其应用

　　吉元教授指出：电子背散射衍射技术是在1980年发展起来的，是一种应用于扫描电镜中的微区晶体学分析技术。EBSD菊池衍射花样可以通过计算晶面、晶带轴指数以及晶粒取向来标定晶体取向，具有分辨率高、菊池花样取向敏感性高、花样应变敏感性高、花样收集角大等特点。近几年，EBSD的技术进展主要集中在高速EBSD探测器、一体化分析系统、软件功能等方面，越来越多的应用到晶体学取向关系测量、晶粒结构测试、晶界测试、相鉴定、应力/应变分析等领域。

　　最后，吉元教授总结了在EBSD的应用中需要考虑的问题：合理选择和选用SEM-EBSD设备及测试参数、制备好EBSD测试样品、综合利用形貌结构和成分等分析信息、在非导电、纳米材料中的应用难点等。

北京科学仪器装备协作服务中心孙月琴副主任

　　在会议最后，孙月琴副主任表示：非常感谢各位专家精彩的学术报告，为各位参会者带来了扫描电镜领域最新的技术进展与应用成果。

　　同时，孙月琴副主任还说到：首都科技条件平台通过支持研发实验服务基地、领域平台、工作站三类主体，整合科学仪器、科技成果、科技人才三类资源，是实力测试对接、研发实验对接、技术对接三种服务。自成立以来，已有423个国家级及市级重点实验室和工程中心、价值109亿元的1.8万台(套)仪器设备资源向社会开放。目前共计6300多家企业享受到了首都科技条件平台的研发实验服务，服务金额高达6.8亿元。

会议现场