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西安交通大学新近购入JEM-ARM200F，是中国首台该型号的电镜，也是中国大陆第一台STEM球差校正透射电镜。
透射电镜的球差校正器有两种，一种是用在物镜(成像系统)上的球差校正器，也称TEM球差校正器，另一种是用在聚光镜(照明系统)上的球差校正器，也称STEM球差校正器。使用STEM球差校正器除了可以大幅度提高容易解释的STEM图像的分辨率外，还可以大大提高样品微区分析能力。可以这样说STEM球差校正透射电镜是透射电镜的发展方向。
JEM-ARM200F上HAADF的分辨率可以达到0.08nm，是目前世界上分辨率最高的商业化透射电镜。STEM球差校正器日本已有二十多台，韩国有5台，台湾有两台，获得了大量成果。现在中国大陆也有了这样世界顶尖级仪器，令人非常振奋。
[来源：日本电子株式会社(JEOL)]
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