核心参数
产地类别: 进口
仪器简介:
功能特点
测量精度高;方便快捷地分析样品的表面形貌和粗造度;分辨率高,景深大,清晰观察不同焦平面上的图像信息;共焦切层,三维重组,多角度观察;对不同时间,不同位置的图像进行无缝拼接,再现性强;可获得亚微米级的线宽、面积、体积、台阶、线与面粗造度,透明膜厚等几何参数测量数据。
技术参数:
原理
用激光作光源,在试样表面反射进入显微镜的光线经微小的针孔(试样上点与针孔对应形成共聚焦),才能成像的光学系统,阻断干扰和杂散光来提高图像清晰度,获得大景深的显微观察方式。
主要特点:
应用领域
微米和亚微米级部件的尺寸测量,表面形貌观察;半导体芯片表面形貌观察,非接触型的线宽,台阶深度等测量;摩擦学磨痕的体积测量,粗造度测量,表面形貌分析。
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硅单晶材料中缺陷的研究
随着信息技术及太阳能光伏电池产业的飞速发展,半导体硅产业发展到了新的高潮。硅单晶材料在增大直径的同时,对其结构、电学、化学特征的研究也将日益深入;缺陷控制、杂质行为、杂质与缺陷的相互作用以及提高单晶硅片的表面质量已经是工艺技术研究的主攻方向。
材料
2016/06/12
企业名称
北京普瑞赛司仪器有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91110101802104215L
成立日期
2001-06-18
注册资本
2100万元
经营范围
销售机械电器设备、通讯器材、百货;租赁仪器仪表;信息咨询(不含中介服务);技术开发、服务;货物进出口、技术进出口、代理进出口。(未经专项审批的项目除外。领取执照后,应到市商务委或区商务委备案。;市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动.)
北京普瑞赛司仪器有限公司
公司地址
北京市朝阳区西大望路17号3号楼1层D0118
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