钨灯丝扫描电镜对非导电试样的观察手段——低加速电压

2017-11-22 12:29

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资料摘要：

非导电样品绝缘电阻大，在电子束的连续扫描下，样品表面逐渐累积负电荷，形成相当高的负电场，排斥入射电子，二次电子发射不稳定，并随机偏转二次电子轨迹，影响探测器接受，造成图像晃动、亮度突变、出现无规则的明暗条纹，此种现象称为“荷电效应”，也称为“充电效应”。采用低加速电压是抑制荷电效应的有效方法之一，当入射样品的电子数与样品发射的电子数相等，即达到电荷平衡时，就可以避免或最大限度减弱荷电效应。

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