2017-11-22 12:30
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TESCAN 电镜质谱 FIB-SEM-TOF-SIMS 联用系统
型号: FIB-SEM-TOF-SIMS
产地:
品牌: 泰思肯
¥ 1000万 - 2000万
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非导电样品绝缘电阻大,在电子束的连续扫描下,样品表面逐渐累积负电荷,形成相当高的负电场,排斥入射电子,二次电子发射不稳定,并随机偏转二次电子轨迹,影响探测器接受,造成图像晃动、亮度突变、出现无规则的明暗条纹,此种现象称为“荷电效应”,也称为“充电效应”。 采用低加速电压是抑制荷电效应的有效方法之一,当入射样品的电子数与样品发射的电子数相等,即达到电荷平衡时,就可以避免或最大限度减弱荷电效应。
阴极荧光(CL)是扫描电镜中的一个非常重要的信号,其灵敏度可达到ppm级别。很多物质,如矿物、半导体、金属氧化物、稀土元素,甚至有机物和生物样本都有CL信号,因此CL的应用领域也越来越广。 不过CL信号属于电磁波信号,不受电磁场的作用,CL探测器的采集原理和电子探测器相差甚远。通常CL探测器都是类似BSE探测器,位于极靴下方,将CL信号直接反射进入探测器,如图1。因此,CL探测器反射面的设计对最终有多少CL信号能被采集到有决定性的影响。
阴极荧光是由加速电子撞击材料表面激发出的光子信号。阴极荧光信号的收集为SEM提供了许多重要信息,例如,半导体掺杂,缺陷和晶界的信息,地质样品上成带,微裂痕和过成长现象。全色CL具有更高的灵敏度,而彩色CL则揭示更多的样品结构和成分信息。
对于试样的观察和电镜的维护,试样的前处理都很重要。较好的试样前处理,更利于试样的观察,可以得到较好的测试结果,同时也能够有效减少样品室的污染,降低电镜光路清洗的频率,控制维护的成本。