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2SU9000在低电压高分辨晶格像观察中的应用

2017/03/20 11:19

阅读:169

分享:
应用领域:
半导体
发布时间:
2017/03/20
检测样品:
其他
检测项目:
晶格像观察
浏览次数:
169
下载次数:
参考标准:
-

方案摘要:

SU9000作为冷场发射扫描电镜,其本身具有很高的分辨率,同时采用内透镜的物镜设计使其具有与透射电镜相同的功能。由于SU9000的最高加速电压只有30kV,因此它可以实现低电压下高分辨晶格像的观察。

方案详情:

SU9000作为冷场发射扫描电镜,其本身具有很高的分辨率,同时采用内透镜的物镜设计使其具有与透射电镜相同的功能。由于SU9000的最高加速电压只有30kV,因此它可以实现低电压下高分辨晶格像的观察。

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