岛津（Shimadzu）IRXross傅立叶变换红外光谱仪（FTIR）

红外光束聚焦附件，可以将光斑缩小，测试微小样品及较大样品上的微小区域，可配合使用不同的夹具，测试不同类型的样品。本文使用XYZ样品台及1.5 mm光阑样品架测试了晶圆片中1.8 mm直径的微处理单元的红外光谱，比较微处理不同区域的红外光谱透射率的差异，为晶圆片的质量管控和工艺优化提供指导。

橡胶密封件需要硅化处理以增加润滑性，使其在贮存及运输过程中减少因摩擦产生的微粒，便于分装和压塞。硅油是一种使用广泛、性能优良的橡胶密封件润滑剂，最常用的是二甲基硅油。本文使用IRXross透射法测定橡胶密封件表面硅油红外谱图，二甲基硅油在（1260±10）cm-1具有明显的特征吸收峰，利用特征峰校正峰高和浓度建立标准曲线，对未知样品进行含量测定。该方法可准确定量，对橡胶密封件表面硅油含量控制可起到指导作用。

本文介绍了使用微塑料自动预处理装置MAP-100预处理环境表层水中的微塑料，使用傅立叶变换红外光谱仪（FTIR）进行材质分析的案例。其中，这里介绍的MAP-100是满足环境省发布的《河流微塑料调查指南》1)要求的自动化预处理装置。

本文参考GB/T 40006.2-2021 《塑料 再生塑料 第2部分：聚乙烯（PE）材料》，使用岛津IRXross和DSC-60Plus，测试了五种再生聚乙烯塑料颗粒。结果显示，红外光谱法可快速筛查有掺杂、有氧化降解等的再生料，差示扫描量热法可测试材料在一定的温度程序下的熔融温度、结晶温度等热力学性能，两方法结合，快速准确地鉴定了塑料再生颗粒。

光刻胶是微电子制造的核心材料之一，具有极高的技术壁垒，其成分配方工艺对光刻产品的性能具有重大影响。本文探索建立红外光谱定性分析光刻胶主要成分的方法，通过测试烘干光刻胶溶剂前后的红外光谱图，结合标准谱库和官能团分析等手段，可获得光刻胶中主要成分信息。该法具有分析速度快、操作简单、成本低和结果可靠等优势，可作为分析光刻胶成分的手段之一。

傅立叶变换红外光谱仪广泛应用于半导体行业及其晶体材料结构、成分分析和杂质缺陷特性研究等领域。本文使用岛津IRXRoss测定半导体材料硅透射率，并根据GB/T 1557-1989、GB/T 1558-1997-T、GB/T 14143-93计算半导体材料硅中的氧碳含量。该方法简单、快速、样品无需前处理，可方便地扫描得到红外谱图，从而得到碳氧相关信息，对硅材料质量控制起到指导作用。