二手日本日立S-3400N扫描电子显微镜

项目 描述

SE分辨率 3.0nm (30kV)，高真空模式  / 10nm (3kV), 高真空模式

BSE分辨率 4.0nm (30kV)，低真空模式

放大倍率 x5 ~ x300,000

加速电压 0.3 ~ 30 kV

低真空范围 6 ~ 270 Pa

最大样品尺寸 直径200mm

样品台 I型                                     II型

X 0 ~ 80mm                          0 ~ 100mm

Y 0 ~ 40mm                          0 ~ 50mm

Z 5 ~ 35mm                          5 ~ 65mm

R 360o                                  360o

T -20o~ +90o                        -20o ~ +90o

T -20o~ +90o                        -20o ~ +90o

最大样品高度 35mm (WD=10mm)           80mm (WD=10mm)

驱动类型 手动                                  五轴马达驱动

灯丝 预对中钨灯丝

物镜光栏 可移动式4孔物镜光栏

枪偏压 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏

检测器 二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子检测器

分析位置 WD=10mm, TOA=35o

控制 鼠标、键盘，手动旋钮

自动调校 自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦  消像散、自动亮度对比度 

详细说明

1. S-3400N具有强大的自动功能，包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、

   自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。

2. 在3kV低加速电压时保证有10nm的分辨率。

3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。

4. S-3400N II型具有五轴马达台，倾斜角度可达-20度~+90度，样品最高可达80mm。

5. 分析样品仓可以同时安装EDX ， WDX 及EBSD。

6. 真空系统使用涡轮分子泵，洁净、高效