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解决方案
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半导体、光电行业微纳加工的超纯气体解决方案

应用领域

半导体

检测样品

集成电路

检测项目

极微量的杂质就可能影响半导体、光电行业微纳加工产品的强度、镀膜厚度、导电性、表面完好性及效率,同时也会对机台本身产生影响。华邦化学pou气体纯化器通过化学吸附和物理吸附相结合的方式,可将工艺气体中的杂质脱除深度至0.1ppb以下,保证超纯气的稳定供应以及减少过程中的工艺杂质。

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POU纯化器

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