核心参数
适用气体: N2、H2、O2、Ar、He、Kr、Ne、CH4、CO2、CDA、XCDA、Cl2、HCl等
脱除杂质: H2O、CO、organics等
脱除深度: <1 ppb
使用流量: 1-50000 Nm3/h
使用温度: 常温/高温
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