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半导体、光电行业微纳加工的超纯气体解决方案
极微量的杂质就可能影响半导体、光电行业微纳加工产品的强度、镀膜厚度、导电性、表面完好性及效率,同时也会对机台本身产生影响。华邦化学pou气体纯化器通过化学吸附和物理吸附相结合的方式,可将工艺气体中的杂质脱除深度至0.1ppb以下,保证超纯气的稳定供应以及减少过程中的工艺杂质。
半导体
2024/09/29
大连华邦化学有限公司
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