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核心参数
产地类别: 进口
仪器类别: 光学非图形化缺陷检测设备
主要应用: 晶圆监测缺陷机器
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半导体晶圆PL光谱测试系统
性能特点:
无刷,无铁芯的直线电机,无嵌齿效应(cogging)
动子质量小,长度短,推力大,电机常数高
六种型号 ( AUM 1,2,3,4,5,6 ) ,持续推力范围从3N-2340N
可提供气冷与水冷选择,并标配有霍尔传感器及温度传感器
适合于高加速度(10G或更高)高速度的应用
与气浮轴承结合适用于精度高的应用产品
企业名称
深圳市泰道精密机电有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
914403003264230460
成立日期
2015-01-19
注册资本
500万
经营范围
一般经营项目是:自动化控制系统领域内软件开发及咨询;国内贸易;货物及技术进出口。(法律、行政法规禁止的项目除外;法律、行政法规限制的项目须取得许可后方可经营),许可经营项目是:机电设备、电子产品、工业自动化产品、机械配件、传感器、电子产品、智能机器视觉系统集成及其各种自动化元器件的技术开发、生产及销售、咨询、上门维修;
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