核心参数
检测项目: 常规气体微量杂质分析(氦气/氢气/氮气/二氧化碳等)
适用气体: N2、CO、H2S、O2、Ex、CO2
脱除杂质: N2、CO、H2S、O2、Ex、CO2
脱除深度: <1 ppb
使用流量: 2 slpm
使用温度: 可选
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