核心参数
产地类别: 进口
工作原理: 针描法/触针法
测量方式: 接触式
测试参数: Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Rv,Sm,S,Pc,R3z,mr,δc,Rpk,Rvk,Rk,Mr1,Mr2,Lo,R,AR,Rx,A1,A2,Vo
测量范围: 13780uinch(-7880uinch-+5900uinch)/350um(-200um-+150um)
量程范围: Z轴范围360μm(-200μm~160μm)(检出器)范围/分辨率360μm/0.02μm,100μm/0.006μm,25μm/0.002μm
滤波方式: 测量力/测针形状0.75mN型:0.75mN/2μmR60°,4mN型:4mN/5μmR90° 导头压力:小于400mN
取样长度: 取样长度:0.01′(0.25mm),0.03′(0.8mm),0.1′(2.5mm)
评定长度: 测量速度测量:0.25mm/s,0.5mm/s,0.75mm/s返回:1mm/s
仪器评定取样: 100
分辨率: 0.001
示值误差: +-0.0001
测量重复性: +-*3%
测量工件最大高度: 200mm