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TC Wafer温度传感器
产品介绍
TC Wafer是使用特殊加工工艺将耐高温传感器热电偶（Thermocouple）镶嵌于晶圆表面特定位置，从而可实现晶圆表面温度实时测量的温度传感器。
通过TC Wafer可获得晶圆特定位置的真实温度测量值以及整体晶圆的温度分布情况。
也可用于持续监控在热处理制程中晶圆瞬态温度变化，比如：升温，降温，恒温过程及延迟时间等。
官网www.rsuwei.com
规格参数
| 序号 | 参数 | 内容 |
| 1 | 精度 | ±1.1℃/0.4% |
| 2 | 测温范围 | RT~1200℃ |
| 3 | 传感器类型 | TC |
| 4 | 热电偶型号 | K Type（ I 级精度） |
| 5 | TC线径 | 0.127mm/0.254mm |
| 6 | 测温点数 | 1~34 |
| 7 | 基底材质 | 硅/ 蓝宝石等 |
| 8 | 晶圆尺寸 | 2”，4”，6”，8”，12” |
| 9 | 线长 | L1-腔体内部；L2-仓门过渡段；L3-腔体外部 |
| 10 | 使用寿命 | 3~6个月（视具体情况而定） |
| 10 | 校准寿命 | 6个月 |
| 11 | 使用环境 | 真空/大气/惰性气体/其他 |
主要应用
炉管
匀胶显影机
PVD chamber
CVD chamber
RTP/rta chamber
去胶Strippers
PVD
真空回流炉
加热台
三温台
生产周期
35天
如何选型
1.确定温度范围及精度要求与尺寸（不同温度及精度对应的TC type）
2.确定真空度要求（主要考虑过渡 段L2在仓门处的宽度及厚薄）
3.确定测量点数量及分布（柔性客制化）
4.确定各线段L1、L2、L3的线长（主要考虑TCWafer放置于Chamber里的线长）
5.其他：插头型式
企业名称
苏州欣威晟电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320506076300536X
成立日期
2013-08-14
注册资本
5000万元整
经营范围
研发、生产、加工、销售:电子元器件、机电设备及配件、非标自动化设备、电子模块及集成电路;并提供上述产品的安装、维修、技术服务;销售:电脑及配件、工业清洗剂、润滑油、非危险化工产品、橡塑制品、金属制品及精密元器件、五金交电、净化设备;自营和代理各类商品和技术的进出口业务.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
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