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北京瑞科中仪科技有限公司

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去胶机

品牌: M&R
产地: 台湾
型号: RIE 去胶机
报价: ¥1万 - 20万
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核心参数

产地类别: 国产

产品介绍

其它参数

功率:0~600W
频率:13.56MHz
真空泵:螺杆式干泵
腔体材质:航空铝合金
抽速要求:30 秒内真空度<30Pa 180 秒内
真空漏率:≤50mTorr
破真空系统:N2 破真空
Wafer:8 寸及以下可兼容
腔体尺寸:300×300×120mm
电极板要求:水冷水平电极、single wafer
电极板水冷:配置冷水机实现水冷控温
工艺气体气路:配置 N2、O2、Ar 三路工艺气体
系统控制:PLC

M&RRIE去胶机产品介绍如下:

去胶机.png 

产品概述

M&RRIE去胶机是一款高性能的反应离子刻蚀(RIE)设备,专为微电子、半导体、光电等领域设计,用于去除材料表面的光刻胶、氧化物、金属薄膜等残留物。该设备以其高效、稳定、精准的去除效果受到业界广泛好评。

 核心特点

1. 高效去胶:采用先进的RIE刻蚀技术,能够在短时间内高效去除材料表面的残留物,提高生产效率。

2. 稳定可靠:设备结构紧凑,设计合理,运行稳定可靠,能够保证长时间连续工作的稳定性。

3. 精准控制:通过精确控制刻蚀气体的流量、压力、功率等参数,实现去胶过程的精准控制,保证去胶效果的一致性。

4. 兼容性强:支持多种材料、多种尺寸的晶圆处理,兼容性强,满足不同用户的需求。

 应用领域

M&RRIE去胶机广泛应用于微电子、半导体、光电等领域,包括但不限于:

* 去除光刻后的HDMSBARC

* 刻蚀高分子聚合物,如聚酰亚胺、PDMS、石墨烯等

* 湿法蚀刻前的晶圆清洗、表面预处理

* 表面改性(润湿性和附着力的改善)

* 故障分析中的选择性层蚀刻

 售后服务

我们提供全面的售后服务支持,包括设备安装、调试、培训、维修等。同时,我们拥有专业的技术团队和完善的售后体系,能够为用户提供及时、专业的技术支持和解决方案。

总之,M&RRIE去胶机以其高效、稳定、精准的去胶效果和广泛的应用领域,成为微电子、半导体、光电等领域用户的理想选择。


售后服务
产品货期: 30天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后3天内
电话支持响应时间: 24小时内
是否提供维保合同:
维修响应时间: 1天内
节假日是否提供上门服务:
核心零部件货期: 60天
核心零部支持时间: 30
是否支持上门巡检:
是否提供预防性维护计划:
是否提供期间核查方案:
是否提供免费应用支持:
是否提供付费应用支持:
是否提供线上售后平台:
维修付款方式: 先维修后付款
基本维修资料公开: 技术参数
无理由退换货: 不支持
问商家

M&R去胶机RIE 去胶机的工作原理介绍

去胶机RIE 去胶机的使用方法?

M&RRIE 去胶机多少钱一台?

去胶机RIE 去胶机可以检测什么?

去胶机RIE 去胶机使用的注意事项?

M&RRIE 去胶机的说明书有吗?

M&R去胶机RIE 去胶机的操作规程有吗?

M&R去胶机RIE 去胶机报价含票含运吗?

M&RRIE 去胶机有现货吗?

工商信息

企业名称

北京瑞科中仪科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

91110108575212805M

成立日期

2011-05-13

注册资本

500万元人民币

经营范围

技术开发、技术推广、技术服务;计算机技术培训;经济贸易咨询;会议服务;承办展览展示活动;机械设备修理;货物进出口、技术进出口、代理进出口;销售机械设备、仪器仪表、五金交电、电子产品、计算机、软件及辅助设备、化工产品(不含危险化学品及一类易制毒化学品)、医疗器械Ⅰ、Ⅱ类、日用品;销售第三类医疗器械。(企业依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)

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北京瑞科中仪科技有限公司为您提供M&R去胶机RIE 去胶机,M&RRIE 去胶机产地为台湾,属于国产去胶机,除了去胶机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多去胶机,Cnrico客服电话,售前、售后均可联系。

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