核心参数
产地类别: 国产
靶材材质: 金
靶材尺寸: 直径57mm x 0.1mm厚
控制方式: 触摸屏控制,手动和自动模式可选,操作简便
样品仓尺寸: 直径150mm x高度120mm
样品台尺寸: 可以装载样品8-15个,高度可调范围为40mm
溅射气体: 空气或氩气
展位推荐
磁控溅射仪 SSG-50M
为了使电子显微镜中的样品能够成像,它们需要有导电性,通过在样品上形成导电层的镀膜,用来抑制电荷,减少热损伤,并提高在SEM中定位检查所需的二次电子信号。
测试原理:
在封闭腔室中,放置阳极靶材,充入气体,保持一定的真空度,在阳极和阴极之间加载高压,会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散,在磁力的束缚下在一定范围内沉积,最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电,减小热损伤,提高二次电子产率,从而改善扫描电镜观察效果。
平时使用时,最常见靶材的是金靶。正是这个原因,离子溅射仪也俗称“喷金仪”。然而,为了获得更细小的晶粒尺寸、更薄的连续镀层,有时候也会使用其他靶材(比如铬、铂金、铜)。
产品概览
产品特点
样品腔尺寸:圆柱形,直径150mm x高度120mm;
样品腔真空度:极限真空度:<0.1Pa,工作真空度:0-10Pa,恒压控制;
样品台:可以装载样品8-15个,高度可调范围为40mm;
靶材:Au 靶为标配,Pt,Cu(选件)规格:直径57mm x 0.1mm厚;
溅射电流:微处理器控制,安全互锁,可调,最大电流200mA,程序化数字控制;
溅射头:低电压平面磁控管,靶材更换快速,环绕暗区护罩;
真空计:皮拉尼真空计,测量范围:0.01Pa-常压;
真空泵:双级直连式高速真空泵,抽速:66L/min,真空度:10-2Pa;
厚度监控:使用高分辨厚度监控仪,精确测定所镀膜的厚度;(选配)
操作方式:触摸屏控制,手动和自动模式可选,操作简便;
机箱设计:长宽高40*35*50cm,坚固防腐蚀的箱体,带有电源、电压、电流、真空度等显示。
适安佳离子溅射仪SSG-50M的工作原理介绍
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企业名称
适安佳(北京)生物科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
9111011567879262XK
成立日期
2008-07-25
注册资本
50万元
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;企业管理咨询;社会经济咨询服务;机械设备销售;仪器仪表销售;五金产品零售;化工产品销售(不含许可类化工产品);玻璃仪器销售;金属制品销售;针纺织品销售;日用品销售;电子产品销售;文化用品设备出租;体育用品及器材零售;珠宝首饰零售;工艺美术品及收藏品零售(象牙及其制品除外);货物进出口;技术进出口;进出口代理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)(不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
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