核心参数
自动化度: 半自动
方块电阻测量范围: 1x10E-6ohm/sq~5x10E6ohm/sq
方阻测量精度: ≤±1%(典型晶圆)
基板尺寸: 晶圆12英寸以内
机器是双系统控制模式,可电脑控制,也可以触摸屏控制。
数据处理:测试数据可显示测试点的 X, Y 坐标,电流电压范围,电阻,电阻率等。
图谱功能画面:制图软件可根据样品形状,测量点数量和位置,测量点的方阻值绘出2D, 3D MAP图.
控制系统:机器是双系统控制模式,可电脑控制,也可以触摸屏控制
有伺服电机,高精度走位,探头压力传感器,设有多重压力感应保护机制。测量区域封闭无尘空间,减少污染。
机器参数
1.方阻测量范围:1x10E-6ohm/sq~5x10E6ohm/sq
2.四探针探头测量金属类型:铝 / 钛 / 镍钒 / 金/ 铜 等金属
3.四探针探头测量金属厚度:100A~10μm
4.四探针系统电流量程:1μA , 10μA , 100μA ,1mA , 10mA , 50mA , 500mA 七档
5.四探针标准晶圆方阻重复性:1,≤±0.1%(同点静态测量)2,≤±0.2% (动态多点测量)
6.四探针标准晶圆测量精度:≤±1%(典型晶圆)
7.量测区域:以探针头的中心到晶圆的边缘距离3mm
8.测试图形:
1,极地图形(在对位晶圆的notch)
2,矩形图形(无效边缘排除以外进行选择)
3,直线扫描(可以是直径,半径或沿直径的点到点,最小距离0.1mm)
4,用户自定义(使用模板)
9. 测量图形表示:可以为轮廓图,3D图,water上显示的数据图数据表示
10. 探针自清洁功能:陶瓷片清洁
11. 所有设备测量的数据文件可以被导入到Excel,Word文档,工作站等,数据图形可以合并
企业名称
湖南瓦特颂半导体有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91430211MACU5XAL9P
成立日期
2023-08-09
注册资本
伍佰万元整
经营范围
一般项目:电子专用设备制造;电子专用设备销售;半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;电子专用材料制造;电子专用材料销售;电子测量仪器销售;专用设备修理;机械设备租赁;机械零件、零部件加工;机械零件、零部件销售;其他电子器件制造;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;技术进出口;进出口代理(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)