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核心参数
产地类别： 进口
旋转速度： 5000
基片直径： 8inch
POLOS专为研发和小批量生产而设计。空气动力学效率高的腔室可提高均匀性，而天然聚丙烯或 PTFE 结构可确保无金属、无污染且易于清洁的工艺区域。
适用于镀膜、清洗、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI等工艺
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型号 | SPIN150i | SPIN200i | POLOS300 | POLOS450 | POLOS600 |
基片范围 | 直径160mm 或者 4英寸方片 | 直径260mm 或者 6英寸方片 | 直径360mm 或者 8英寸方片 | 直径 460mm 或者 12英寸方片 | 直径600mm 或者 超大方片 |
程序段数 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 0个程序 |
操作步数 | 90个步骤 | ||||
旋转速度 | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-1500rpm ±1rpm steps | |||
旋转精度 | ±0.1 rpm | ||||
旋转方向 | 顺时针、逆时针、交换摆 | ||||
加速度 | 30,000 rpm/sec | ≤1500rpm时取决于负载 | 500 rpm/sec | ||
旋转时间 | 无限制*,± 0.1 seconds steps | 1 to 999 sec/step | |||
腔体直径 | 202 mm | 302 mm | 402 mm | 502 mm | 642mm |
触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 |
POLOS匀胶机POLOS 450的工作原理介绍
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企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
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