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核心参数
曝光模式： 接近式
产地类别： 进口
分辨率： 1nm
光源： 激光器
光源波长： 405、375
光强均匀性： 1%
曝光面积： 3寸
SPS 光刻机 POLOS μ
主要特征：
1、写入分辨率低至2 μm
2、可调整的写作领域和具有可互换目标的解决方案
3、与CAD文件或位图图像兼容
4、与g线光刻胶兼容
5、兼容多种基材（硅，玻璃，金属，塑料等）
6、兼容任何样品尺寸达4英寸的晶片
7、相机反馈以进行对准步骤
8、由于没有硬掩模，节省了时间和金钱
9、将设计直接覆盖在样品上的直观对齐方法
10、占地面积小的桌面
11、非常适合微电子，2D材料，微流体，光电，opty或任何其他2D微加工应用的技术
规格参数：
1、光源曝光：435 nm； 对准：525 nm
2、最小特征尺寸：2至23 μm可调
3、对准分辨率：低至1 μm / cm2
4、最大曝光面积：75 x75 mm2
5、基板尺寸：最大4”晶圆
6、系统尺寸：W：（36厘米）； D：（36厘米）; 高：（60厘米）
7、多合一PC：Win 10、24英寸全高清
8、SFTprint软件：机器控制，步进重复，自动剂量测试，缝合，对齐
9、SFTconverter：将标准格式（gdsii，dxf，cif，oas）转换为位图图像。 随附的CAD软件
POLOS激光直写光刻机POLOS µ的工作原理介绍
激光直写光刻机POLOS µ的使用方法?
POLOSPOLOS µ多少钱一台?
激光直写光刻机POLOS µ可以检测什么？
激光直写光刻机POLOS µ使用的注意事项？
POLOSPOLOS µ的说明书有吗？
POLOS激光直写光刻机POLOS µ的操作规程有吗？
POLOS激光直写光刻机POLOS µ报价含票含运吗？
POLOSPOLOS µ有现货吗？
企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
南通宏腾微电子技术有限公司
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江苏南通越江路88号
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