核心参数
曝光模式: 接近式
产地类别: 进口
分辨率: 1nm
光源: 激光器
光源波长: 405、375
光强均匀性: 1%
曝光面积: 5寸
POLOS NanoWriter是一款多功能紫外激光书写器,具有高精度组件,专为用户提供在光敏层中创建微结构的最高自由度。
分辨率:0.8 - 2.5µm(5µm可选)
波长:405或375纳米
最大基材尺寸:110 × 110毫米
POLOS NanoWriter包括一个405 nm的光学模块,能够在光刻胶层中写入小至0.8微米的结构。这个用户友好的工具支持高达4095级的灰度或纯二进制模式,并允许2.5D光学结构,表面结构以及掩模项目。实时激光控制自动对焦和激光强度控制,确保整个曝光过程中的高质量成像。控制电子设备都安装在框架内,除了控制PC。这个基于微软windows的桌面PC和所有需要的软件都包含在包中。
好处
高品质,低成本的无掩模光刻工具
375nm源可用于i-Line电阻
市场符合0.8µm分辨率
紧凑的光模块:使用一个备用光单元,减少机器停机时间
用户友好的操作
支持高达4“x4”的基板
宽度:580mm
高度:708mm
深度:600mm(不含可选风道)
重量:260kg
压缩空气:5 - 7bar,空气质量符合ISO8573-1:2010 3级或以上
Maskless lithography offers a convenient way to create nanopatterns without the use of slow and expensive photomasks. This is particularly useful for research and rapid prototyping purposes. The POLOS® Beam is a budget compact solution that brings these benefits to your desktop without compromising on performance.
The POLOS® Beam Engine is a quick-swappable component that uses a UV laser beam to create a precise spot that can expose any pattern on a photoresist. To expose large wafers, precision steppers move the wafer, and multiple exposures are stitched together. The POLOS® Beam Engine can produce features smaller than (CD) 0.8 μm on a 5" wafer when equipped with a 405nm Engine and 20x objective.
Compact
Full-featured maskless lithography, smaller than a desktop computer.
Powerful
Sub-micron resolution while exposing a write field in less than two seconds.
Ultrafast Autofocus
Piezo-actuators reach focus in less than a second when combined with our close- looped focus optics.
No-fuss Multilayer
Semi-automatic alignment allows multilayer alignment to be completed within minutes.
The included software makes quick work of any patterning job; just load, align and expose. Navigation is similar to CNC systems.
POLOS激光直写光刻机POLOS Beam的工作原理介绍
激光直写光刻机POLOS Beam的使用方法?
POLOSPOLOS Beam多少钱一台?
激光直写光刻机POLOS Beam可以检测什么?
激光直写光刻机POLOS Beam使用的注意事项?
POLOSPOLOS Beam的说明书有吗?
POLOS激光直写光刻机POLOS Beam的操作规程有吗?
POLOS激光直写光刻机POLOS Beam报价含票含运吗?
POLOSPOLOS Beam有现货吗?
企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
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江苏南通越江路88号
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