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POLOS 激光直写光刻机Maskless lithography

品牌: POLOS
产地: 德国
型号: POLOS Beam
报价: 面议
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核心参数

曝光模式: 接近式

产地类别: 进口

分辨率: 1nm

光源: 激光器

光源波长: 405、375

光强均匀性: 1%

曝光面积: 5寸

产品介绍

POLOS NanoWriter是一款多功能紫外激光书写器,具有高精度组件,专为用户提供在光敏层中创建微结构的最高自由度。


分辨率:0.8 - 2.5µm(5µm可选)

波长:405或375纳米

最大基材尺寸:110 × 110毫米


POLOS NanoWriter包括一个405 nm的光学模块,能够在光刻胶层中写入小至0.8微米的结构。这个用户友好的工具支持高达4095级的灰度或纯二进制模式,并允许2.5D光学结构,表面结构以及掩模项目。实时激光控制自动对焦和激光强度控制,确保整个曝光过程中的高质量成像。控制电子设备都安装在框架内,除了控制PC。这个基于微软windows的桌面PC和所有需要的软件都包含在包中。

好处


高品质,低成本的无掩模光刻工具

375nm源可用于i-Line电阻

市场符合0.8µm分辨率

紧凑的光模块:使用一个备用光单元,减少机器停机时间

用户友好的操作

支持高达4“x4”的基板


宽度:580mm

高度:708mm

深度:600mm(不含可选风道)

重量:260kg

压缩空气:5 - 7bar,空气质量符合ISO8573-1:2010 3级或以上

Maskless lithography offers a convenient way to create nanopatterns without the use of slow and expensive photomasks. This is particularly useful for research and rapid prototyping purposes. The POLOS® Beam is a budget compact solution that brings these benefits to your desktop without compromising on performance.

The POLOS® Beam Engine is a quick-swappable component that uses a UV laser beam to create a precise spot that can expose any pattern on a photoresist. To expose large wafers, precision steppers move the wafer, and multiple exposures are stitched together. The POLOS® Beam Engine can produce features smaller than (CD) 0.8 μm on a 5" wafer when equipped with a 405nm Engine and 20x objective.

Compact

Full-featured maskless lithography, smaller than a desktop computer.

Powerful

Sub-micron resolution while exposing a write field in less than two seconds.

Ultrafast Autofocus

Piezo-actuators reach focus in less than a second when combined with our close- looped focus optics.

No-fuss Multilayer

Semi-automatic alignment allows multilayer alignment to be completed within minutes.

The included software makes quick work of any patterning job; just load, align and expose. Navigation is similar to CNC systems.

 




售后服务
产品货期: 200天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
问商家

POLOS激光直写光刻机POLOS Beam的工作原理介绍

激光直写光刻机POLOS Beam的使用方法?

POLOSPOLOS Beam多少钱一台?

激光直写光刻机POLOS Beam可以检测什么?

激光直写光刻机POLOS Beam使用的注意事项?

POLOSPOLOS Beam的说明书有吗?

POLOS激光直写光刻机POLOS Beam的操作规程有吗?

POLOS激光直写光刻机POLOS Beam报价含票含运吗?

POLOSPOLOS Beam有现货吗?

工商信息

企业名称

南通宏腾微电子技术有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

91320602MACC00FA7D

成立日期

2023-03-17

注册资本

100万元整

经营范围

一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)

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南通宏腾微电子技术有限公司为您提供POLOS 激光直写光刻机Maskless lithographyPOLOS Beam,POLOSPOLOS Beam产地为德国,属于进口无掩模光刻机/直写光刻机,除了POLOS 激光直写光刻机Maskless lithography的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多无掩模光刻机/直写光刻机,宏腾微电子设备客服电话400-860-5168转6134,售前、售后均可联系。

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