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核心参数
产地类别： 进口
纳米薄膜热导率测试系统-TCN-2ω
— 薄膜材料的热导率评价将变得为简便
日本Advance Riko公司推出的纳米薄膜热导率测试系统是使用2ω方法测量纳米薄膜厚度方向热导率的商用系统。与其他方法相比，样品制备和测量为简单。
纳米薄膜热导率测试系统特点：
1. 在纳米尺度衡量薄膜的热导率
开发出的监测周期加热过程中热反射带来的金属薄膜表面温度变化的方法，通过厚度方向上的一维热导模型计算出样品表面的温度变化，为简便的衡量厚度方向上热导率。（日本：5426115）
2. 样品制备简单
不需要光刻技术即可将金属薄膜（1.7mm×15mm×100nm）沉积在薄膜样品上。
纳米薄膜热导率测试系统应用：
1. 热设计用薄膜热导率评价的优先选择。
low-k薄膜，有机薄膜，热电材料薄膜
2. 可用于评价热电转换薄膜
纳米薄膜热导率测试系统测量原理：
当使用频率为f的电流周期加热金属薄膜时，热流的频率将为电流频率的2倍（2f）。如果样品由金属薄膜（0）-样品薄膜（1）-基体（s）组成（如图），可由一维热导模型计算出金属薄膜上表面的温度变化T(0)。
假设热量全部传导到基体，则T(0)可由下式计算：
（λ/Wm-1K-1，C/JK-1m-3，q/Wm-3，d/m，ω（=2πf）/s-1）
式中实部（同相振幅）包含样品薄膜的信息。如热量全部传导到基体，则同相振幅正比于(2 ω)0.5，薄膜的热导率（λ1）可由下式给出：
（m：斜率，n：截距）
纳米薄膜热导率测试系统参数：
1. 测试温度：室温
2. 样品尺寸：长10～20mm，宽10mm
厚0.3～1mm（含基体）
3. 基体材料：Si（推荐）
Ge，Al2O3（高热导率）
4. 样品制备：样品薄膜上需沉积金属薄膜（100nm）
（推荐：金）
5. 薄膜热导率测量范围：0.1～10W/mK
6. 测试氛围：大气
设备概念图
样品准备
Si基底上的SiO2薄膜（20-100nm）测量结果
d1 / nm | 19.9 | 51.0 | 96.8 |
λ1/ W m-1 K-1 | 0.82 | 1.03 | 1.20 |
发表文章
1. K. Mitarai et al. / J. Appl. Phys. 128, 015102 (2020)
2. M. Yoshiizumi et al. / Trans. Mat. Res. Soc. Japan 38[4] 555-559 (2013
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企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
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