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核心参数
产地类别： 进口
日本TOHO FLX系列
薄膜应力量测设备FLX系列设备是由日本TOHO公司所生产的，广泛应用于半导体行业薄膜应力的量测。
测试原理
在硅晶圆或者其他材料基地上附着薄膜，由于衬底于薄膜的物理常数不同，将会产生应力而导致衬底基板形变。由于均匀附着的薄膜引起的形变表现为基板翘曲，因此，可依据翘曲（曲率半径）的变化量计算应力。本薄膜应力测量设备用下述方法测量附着表面上的薄膜引起的基板曲率半径变化量。
设备特点
（1）双光源扫描（可见光激光源及不可见光激光源），系统可自动选择zui佳匹配之激光源；
（2）系统内置升温、降温模拟系统，便于量测不同温度下薄膜的应力，温度调节范围为-65℃至500℃；
（3）自带常用材料的弹性系数数据库，并可根据客户需要添加新型材料相关信息至数据库，便于新材料研究；
（4）形象的软件分析功能，用于不同测量记录之间的比较，且测量记录可导出成Excel等格式的文档；
（5）具有薄膜应力3D绘图功能；
主要规格
型号 | FLX-2320-S | FLX-2320-R | FLX-3300-T | FLX-3300-R | |
温度 | 温度范围 | 室温～50O°C （可选：-65'C~500'C) | 室温 | 室温～50O°C （可选： －65'C~500'C) | 室温 |
升温速度 | ~25'C／分钟 (Max.) | ------ | ~25'C／分钟 (Max.) | ------ | |
调节功能 | 内置调零机构 | ------ | 内置调零机构 | ------ | |
样品尺寸 | 75-200mm | 75-200mm | 300mm | 300mm | |
扫描范围 | 200mm | 200mm | 300mm | 300mm | |
晶圆绘图 | 手动 | 自动 | 手动 | 自动 | |
测量重现性 | 1.3MPa | ||||
晶圆输送方式 | 手动 | ||||
脱附气体 | N2或者Ar气体 (1.5L／分钟/0.3kg/cm2） | ------ | N2或者Ar气体 (1.5L／分钟/0.3kg/cm2） | ------ | |
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企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
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