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仪器简介：
应用：
◆蚀刻-半导体-砷化镓等
◆蚀刻-平板显示
◆蚀刻-微机电系统
◆化学气相沉积
◆去光阻
◆化学机械研磨
技术参数：
等离子体处理中的端点检测和诊断技术。将光谱转化为信号并通过自带软件进行绘制和分析，从而了解机台的工作状况。
可以将SD1024系列光谱仪集成到系统中，或配置为使用时独立于过程的控制器，这将有助于诊断应用程序。检测器需要Verity的SpectraView软件应用程序，通过一台独立的应用计算机或Verity的MTC1000多任务计算机进行操作。运行SpectraView软件的应用计算机通过USB或以太网通信链路管理光谱仪。这个应用计算机接收来自系统主控计算机或处理模块的控制命令(配方、启动、停止)，并根据接口的定义返回端点及其他事件结果。
主要特点：
◆等离子诊断
◆缺陷检测
◆200-800纳米
◆制程监控
◆符合RoHS要求
◆科研级CCD
◆体积小
◆软件功能强大
◆可独立操作
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企业名称
南通宏腾微电子技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91320602MACC00FA7D
成立日期
2023-03-17
注册资本
100万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让技术推广;软件开发;软件销售;人工智能基础软件开发;工业机器人安装、维修;智能机器人销售;工业机器人销售;智能机器人的研发:人工智能硬件销售;通用设备修理;电子产品销售;信息系统集成服务;集成电路销售;集成电路芯片及产品销售;集成电路设计:电子元器件零售;专业设计服务;电力电子元器件销售;光学仪器销售;仪器仪表修理;仪器仪表销售;智能控制系统集成;人工智能行业应用系统集成服务;办公设备耗材销售;计算机软硬件及辅助设备零售:机械设备销售;电子元器件与机电组件设备销售:电工仪器仪表销售;机械零件、零部件销售;电气设备修理;普通机械设备安装服务;电子、机械设备维护(不含特种设备):智能仪器仪表销售:工业自动控制系统装置销售;信息技术咨询服务;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);办公设备销售;高速精密齿轮传动装置销售;工业设计服务;互联网销售(除销售需要许可的商品):金属制品销售:电机及其控制系统研发:微特电机及组件销售;五金产品零售,日用百货销售(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
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江苏南通越江路88号
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