压电可变形镜PDM30-37

OKO微加工薄膜可变形镜(MMDM)

荷兰OKO公司推出的微机械薄膜变形镜（MMDM），具有 79 通道，镜面直径为30mm 。具有新颖的促动器几何形状，可以准确地矫正多个低阶Zernike模式，达到优异的波前校正效果。薄膜的边缘固定在周围的框架结构上，薄膜下方有控制电极。一般具有多层结构，主要包括电介质层(dielectic stack)、金属层(metal)、氮化硅层(Silicon nitride)等。厚度一般为0.5~10微米，直径为5~50毫米。薄膜变形镜不存在磁滞效应，形变重复性较好。

工作原理：

当在薄膜下方的电极上施加电压时，电极和薄膜之间产生静电吸引（eletrostatic attraction），从而导致薄膜发生形变。如果在所有的电极上施加相同的电压，则薄膜会产生球形的形变（球形凹陷）。在不同的电极上施加不同电压（即不同的电压组合），则可以使薄膜产生不同的形变，从而达到改变光程的效果。

产品性能

• 体积小、重量轻、功耗极低

• 光学质量高（整个通光孔径RMS值优于400nm）

• 变形镜表面十分平滑：散射现象微小

• 波前形变范围高达25um

• 可以镀各种金属-电介质膜，可承受600W连续

• 激光零磁滞

OKO压电式可变形镜(PDM)

压电变形镜主要利用压电促动器的伸缩带动镜面产生形变。镜片一般由玻璃、石英或者硅制成，镜面镀以金属，镜片与下方的压电执行器通过粘合剂固定。通过改变压电执行器阵列的电压组合，可以使镜面产生不同的形变。
  OKO公司生产的压电变形镜的促动器间距最小为4.3mm，镜面最大形变（maximum stroke）8微米，促动器间形变量在1-3微米之间，迟滞在7%-15%范围内。由于压电执行器能产生较大的形变，因此压电变形镜可用于校正高阶、大幅度的波前畸变，并且执行器数量可以进行较大规模拓展。PDM很容易与OKO 的波前传感器集成成一个完整的闭环自适应光学系统，帧频为15至100 Hz。对于激光光束的直接优化，DM可以与BeamTuner优化控制器相结合，由优化软件和焦斑(亮度)传感器组成。

主要应用包括光学像差的动态校正在高功率激光，天文和成像系统。

产品性能

• 体积小、重量轻、功耗极低

• 光学质量高

• 变形镜表面平滑

• 响应时间小

• 可以镀各种金属-电介质膜

1997年，荷兰OKO公司成立（Flexible Optical B.V.）。OKO公司是世界上最早进行自适应光学产品研发和销售的公司之一，创始人正是薄膜变形镜的发明人Vdovin博士。

OKO公司主营产品是MMDM薄膜变形镜、PDM变形镜和夏克哈特曼波前传感器等自适应光学器件。因为变形镜优良的光学性能、低廉的价格，一经推出就受到了全世界范围内自适应光学研究人员和用户的关注和青睐。尤其是15mm口径、37通道的MMDM最受欢迎，被称为“OKO Mirror”。

这些自适应光学的校正器件，与波前传感器相结合，和控制中枢形成闭环回路时，自适应光学系统的矫正能力便大大加强。此外，波前传感器还能通过软件监控，实时与外界进行交互，接收外界的控制，反馈波前状态。