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介绍：
1)显微镜 LED曝光系统 UTA系列，为不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光设备。
2)使用金相显微镜和 LED 光源 DLP 光机，即可在涂布光阻的基板上进行数个微米 分辨率的曝光。
3)Pattern 形状可以使用计算机绘图自由制作。
4)可在一般环境操作，样品外观及尺寸限制小，价格比一般电子束曝光机更便宜、方便性更高，可以大幅降低研发成本。
特色：
使用显微镜和 DLP 组合之曝光系统，可比既有系统拥有更具竞争性之价格。
‚软件操作简便，可以自由绘制曝光Pattern。
ƒ透过物镜倍率选择，调整曝光范围大小与分辨率。
„可以制造微米等级尺寸的 Pattern 。
使用案例：
ü形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量测用试料之电极。
üMo 原石取出薄片，形成原石特性评估的电极。
企业名称
无锡浩辉者新材料科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(台港澳合资)
信用代码
91320206MA1Y6M31XR
成立日期
2019-04-04
注册资本
75万美元
经营范围
新材料、化工产品的研发、技术服务、技术咨询、技术转让,信息技术服务,科技咨询服务,从事化工产品及原料(不含危险品)、仪器仪表的批发、佣金代理(拍卖除外)、进出口业务(以上商品进出口不涉及国营贸易管理商品,涉及配额、许可证管理商品的，按国家有关规定办理申请).(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
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