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科研小型气敏测试真空探针台
高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户,可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度,从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户,可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组,以满足测试要求。
为了减少泵组的振动,我们还专门为用户设计了隔振器,地衰减泵组工作时产生的振动,以确保系统的稳定,减少探针的漂移。
度
真空腔体
类型
高温型室温到350℃
高低温型 室温到350℃ 室温到-196℃
腔体材质
304不锈钢 6061铝合金 可选
腔体内尺寸
127mmX57mmX20mm
腔体外尺寸
150mmX80mmX32mm
腔体重量
不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG
腔体上视窗尺寸
Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)
腔体抽气口
KF16法兰(其余接口规格可转接)
腔体真空测量口
腔体进气口
6mm快拧 或 6mm快插
腔体冷却方式
腔体水冷+上盖气冷
腔体水冷接口
腔体正压
≤0.05MPa
腔体真空度
机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟)
样品台
样品台材质
不锈钢 银铜合金 纯银块
银铜合金 纯银块
样品台尺寸
26x26mm
样品台加热方式
电阻加热
电阻加热 液氮制冷
样品台-视窗 距离
11mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm)
样品台测温传感器
PT100型热电阻
样品台温度
室温到400℃
室温到400℃ 室温到-196℃
样品台测温误差
±0.5℃
样品台升温速率
高温100℃/min 低温7℃/min
温控仪
温度显示
7寸人机界面
温控类型
标准PID温控 +自整定
温度分辨率
0.1℃
温控精度
温度信号输入类型
PT100 (可选K S B型热电偶)
温控输出
直流线性电源加热
直流线性电源加热+液氮流速控制器
辅助功能
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口
温控器尺寸
32cmX170cmX380cm
温控器重量
约5.6KG
探针
电信号接头
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
探针数量
4探针(可扩展5探针)
探针材质
镀金钨针 (其他材质可选)
探针尖
10μm
手动探针移动平台
X轴移动行程
20mm ±10mm(需手动推动滑台)
X轴控制精度
≥500μm
R轴移动行程
120° ±60°(需手动旋转探针杆)
R轴控制精度
Z轴移动行程
2mm ±1mm
Z轴控制精度
≤50μm(需手动螺纹调节探针杆)
企业名称
郑州科探仪器设备有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91410102358043099C
成立日期
2015-09-01
注册资本
伍拾壹万圆整
经营范围
销售:仪器仪表,电子元器件,高低压成套设备,机电设备,阀门,五金交电,管件;实验室设备的安装;机电设备安装工程(凭有效资质证经营);实验室设备及配件的技术开发;软件开发;自动化控制设备的的技术开发;从事货物和技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
微型探针台主要应用于传感器 半导体
氢氧火焰机高温融封机玻璃试管封口机
气液反应鼓泡器
小型真空等离子清洗机
高精度质量流量计郑科探
大型真空高低温探针台郑科探
环境敏感性材料真空测试腔体
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KT-Z1650PVD
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