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洁净区域的气流流型检测
气流流型及流向验证的目的是确认气流流型、方向及其均匀性与设计和性能技术要求相符。
一、气流流型验证
洁净室中的气流流型分为两大类：单向流（层流）和非单向流（紊流/乱流）。验证气流流型的主要方法有示踪剂法和示踪线法，即使用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向。发烟源可使用超声波雾化（0.5μm~50μm水雾）的DI水，在高强度光源下进行示踪。
1、布点数量及位置
| 气流类型 | 垂直单向流 | 水平单向流 | 非单向流 |
| 布点数量 | 4个 | 5个 | 至少3个 |
| 布点位置 |
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|
|
2、测定方法
使用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向，配合高强度光源示踪 。
二、气流流向验证
1、气流流向检测方法分为以下四种：
• 示踪线法
• 示踪剂法
• 采用图像处理技术的气流显形检查
• 借助速度分布测量的气流显形检查
2、使用示踪剂法时，可采用与测定气流流型同样的方法，观测定向流流向并记录。可分段接力发烟，目测绘制或摄影、摄像。
三、检测周期
• 气流流型的检测周期无明确要求。
• 气流流向（定向流）的最长检测间隔时间不宜超过12个月。
四、相关标准
• ISO 14644-3:2019
• GB 50591-2010
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