将洁净室交付给用户前的最后一项必须进行的工作就是测量悬浮粒子的浓度。这样做是为了确保粒子计数处于设计阶段所设定的标准范围以内。
测量洁净室内的悬浮污染可以在此种占用状态下进行,这就是 ISO14644-1标准中所规定的:
空态:洁净室建造完成,可以投入使用。其所有的设施均已连通并处工作状态,但室内无生产设备无人员在场;
静态:洁净室建造完成,所有设施都在工作,生产设备在按规定运转,但无操作人员在场;
动态:洁净室处正常运行状态,所有设施接通并在运行,生产设备和人员(根据情况)就位,人员在进行正常的机器操作。
从建筑商建造好洁净室到室内生产出产品这之间,常常有相当长的时间间隔。但建筑商愿意在洁净室建好后就收款,所以通常的做法是在“空态”状态下检查洁净室的状况是否令人满意。如果令人满意,就支付全部或大部分款项。而问题是在“空态”条件下检测洁净室时,室内没有生产设备在工作,没有人员在场,没有产生悬浮粒子。因此,室内的悬浮粒子浓度非常接近经过过滤的送风中的粒子浓度。但实际上洁净室的测试需要一个或多个人员在场,这些人员会增加室内粒子计数。但其计数要比洁净室处在“动态”条件下的粒子计数低得多。
因此,在洁净室处于“空态”状态下确认其是否符合洁净度等级限值,对建筑商有利。因为在所有的占用状态下,“空态”的粒子计数低,而且“空态”测试可以在洁净室完工后立即进行。如果在洁净室的建筑合同中未规定占用状态,恐怕就会有问题。用户可能希望洁净室在占用的状态下有令人满意的性能,而建筑商可能考虑的是使洁净室达到正确的洁净度等级,即使是在“空态”状态下也行。所以,应在建筑合同中明确哪种占用状态下的洁净度。
如果洁净室的设计正确,洁净室是在空着的时候即“空态”条件下测试的,那么就有一个经验法则可以适用。这就是说“空态”下的洁净室比“动态”时的洁净度高出一个洁净度等级。但这并非总是对的。而在“空态”状态下增加一些另外的测试,应能预示出洁净室在“静态”或“动态”状态下其符合洁净度等级的可能性有多大。送风量与送风质量就是这类测试的重要内容。对于单向流系统中的定向气流而言,如果没有粒子绕过了过滤器进入室内且风速正确,就可能达到正确的洁净度等级。而在紊流洁净室中,能否在“动态”状态下达到正确的洁净标准就不那么肯定。因为紊流洁净室仰仗的是充分的送风量来稀释机器和人员散发出的污染。但对于有经验的设计者来说,这应不是一个问题。通常设计者在设计中保留的余地过大,结果洁净室比期望的更为洁净。
建筑商将洁净室交工后,就要在洁净室内安装设备并进行调试。最后是开始生产。然后,就可以在“动态”状态下测量粒子污染的状况。“动态”条件是具相关性的条件,因为它反映的是当生产区域处于工作状态下的实际污染状况。而这种条件下的粒子计数也可能就是高的。
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