非接触式3D表面粗糙测量仪

PF-60非接触式3D表面粗糙测量仪

激光探头-自动对焦扫描

适合各种材料的2D/3D精密量测,   尤其是透明与高反射率的材料量测, 符合国际量测规范, 是提高品管制程良率的高效实用工具

一、扫描快速

非接触式, 激光探头 - 自动对焦扫描      高速扫描 2D/3D 表面粗糙形貌测

二、量测规范

激光探头 (波长 635 纳米) -  自动对焦扫描量测技术 ( Point Autofocus Probe, PAP )，被列入国际量测规范 ISO 25178-605。隶属非接触式的 2D/3D 精密量测。PAP 技术完全吻合表面粗糙度的国际量测规范, 精确度更是优于传统技术,  是工业最可信赖的量测方法。

三、使用简易, 大面积的高速量测可客制载台

实时的自动连续聚焦量测, 快速移动载物台，PF-60 可量测 60x60 mm, 解析达到 0.1 微米。

XY 电动扫描载台, 不受环境温度影响位移精度。

可量测的样本面积为 60 x 60 mm ( PF-60 ), 也可客制载台到 6”, 8”, 12” 甚至到 600 x 600 mm 以上.

四、可应用于高反率的样本量测, 透明物体的量测

PF-60 使用 100x 或 50x 物镜,   在样品表面的聚光点口径仅达 0.5 µm, 不仅连续性聚焦, 更可消除样品表面因为穿透性产生的杂光, 或者, 样品表面因为旁边材料产生的反射杂光. 进而达到精密的扫描量测., 也可应用于高反率的样本量测,  透明物体的量测。

五、可连续扫描, 角度量测超过 87 度

唯一的超高角度追踪量测性能, 对于复杂形貌与角度刁钻的任何材料, 皆可轻易落实精密的量测。

系统配置与技术参数

专业报告

操作简易, 自动专业报告与管理编辑, 中文版, 并同时支持多国语言。

精密量测 

高速 3D大面积量测, 最大的角度量测, 提供最高精度的数据

品管良率 

量测符合国际量测规范, 是提高品管与制程良率的高效实用工具.

高速测量晶圆的总翘曲度和波纹度                   高精度测量陡峭角度的透明镜片      非球面镜片成型模具的表面钻石车削加工表面

焊锡量体积和高度的3D表面评估           微透镜数组镜头表面凹凸不平的量测追踪     精密齿轮的齿面形状测量和表面精度的粗糙度评估

高精度量测铣刀外部直径, 前角和超出轮廓数据的间隙角度                                   

优越性能

适合量测透明材料, 或高反射率材料, 因应样本尺寸与形貌, 可以客制化扩充机台

PF-60 扩充性, 除了量测载台可客制化外, 依照用户量测

需求, 可拓展机台到 NH 或 MLP 系列

一般产业应用领域 : 

非球面镜片测量，外形评价

模具测量，粗糙度测量

微距镜头，测量，测量间距

液晶导光板的形状，间距

晶圆 PAD 三维测量

表面有划痕，缺陷测量

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