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双频激光干涉仪测量高精度位移台的线性定位精度

2023/01/18 15:10

阅读：72

应用领域：

机械设备

发布时间：

2023/01/18

检测样品：

机床

检测项目：

机床线性定位精度测量

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参考标准：

国标

方案摘要：

双频激光干涉仪LH3000测高精度位移台图中是为高精度位移台客户校准机床的线性定位精度，客户导轨总长500mm，2mm一个步距，精度要求要校准到800nm，图中使用的是双频激光干涉仪LH3000,目前机床领域的国内最高精度，双频对于单频测量来说，它的测量精度更高，抗干扰能力更强，这是基于本身原理的不同，很多国内的公司，会误导客户说自己家也是双频的干涉仪，其实是双频稳频不是双频测量，在1um精度左右的测量，很多单频是达不到的。在图中先搭建好硬件通上电，然后搭建光路（干涉仪就是通过光的频差测量），让光路跟客户要测的设备匹配上，打开软件，采集客户目前的线型定位数据，然后用分析软件进行分析，最后导入客户的机床进行补偿，最后再测一遍进行复检。总体流程操作大概再1-3个小时左右，其中环境的影响也会对测量造成影响，比如空气中的粉尘，空气温度对材料造成的膨胀，测量周围的振动，比如其他机床的运行等，这些在测量中都需要注意。

产品配置单：

分析仪器

镭测科技Leice激光干涉仪LH3000双频激光干涉仪

型号： LH3000双频激光干涉仪

产地：北京

品牌：镭测科技

¥15万 - 45万

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方案详情：

双频激光干涉仪LH3000测高精度位移台

图中是为高精度位移台客户校准机床的线性定位精度，客户导轨总长500mm，2mm一个步距，精度要求要校准到800nm，图中使用的是双频激光干涉仪LH3000,目前机床领域的国内最高精度，双频对于单频测量来说，它的测量精度更高，抗干扰能力更强，这是基于本身原理的不同，很多国内的公司，会误导客户说自己家也是双频的干涉仪，其实是双频稳频不是双频测量，在1um精度左右的测量，很多单频是达不到的。

在图中先搭建好硬件通上电，然后搭建光路（干涉仪就是通过光的频差测量），让光路跟客户要测的设备匹配上，打开软件，采集客户目前的线型定位数据，然后用分析软件进行分析，最后导入客户的机床进行补偿，最后再测一遍进行复检。

总体流程操作大概再1-3个小时左右，其中环境的影响也会对测量造成影响，比如空气中的粉尘，空气温度对材料造成的膨胀，测量周围的振动，比如其他机床的运行等，这些在测量中都需要注意。

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