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核心参数
光源频率： 双频
产地类别： 国产
测量范围（m）： 40米
线性测量精度（ppm）： ±0.3 ppm
线性分辨力（um）： 0.001um
稳频方式： 双频激光热稳频
稳频精度（ppm）： ±0.3 ppm
预热时间： ≤6分钟
专为光刻机配套开发的高精度测量系统；
通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。
采用直接输出线偏振光的双频激光器；
非线性高精密测量系统，测量更精准；
可提供1~20MHz频差内任意频差产品，满足各种测量速度需要。
光源和测量信号接收单元分体式设计，方便搭建XY位移台等多轴测量系统；
精巧的测量信号光纤接收头，即使空间狭小也能方便安装；
标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口，可直接替换现有产品。
型号 | 频差(MHz) | 最小出光功率(μW) | 光斑尺寸(mm) | 稳频精度(ppm) |
LH1000A | 1.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000B | 2.5±0.5 | > 500 | 6 | ±0.02 |
LH1000C | 3.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000D | 4.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000DL | 5.5±0.5 | > 500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000EL | 6.5±0.5 | >500 | 6 | ±0.02 |
LH1000FL | 7.5±0.5 | >500 | 6, 9 | ±0.02 |
LH1000GL | 8.5±0.5 | > 500 | 9 | ±0.02 |
LH1000H | 9.5±0.5 | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
LH1000I | 10.0-20.0(按需定制) | > 500 | 3, 6, 9 | ±0.02 |
企业名称
北京镭测科技有限公司部北京镭测科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司自然人投控他
信用代码
911101080556326031
成立日期
2012-09-27
注册资本
1200000
经营范围
技术开发、技术推广、技术转让、技术咨询、技术服务;计算机系统服务;基础让件服务;应用软件服务(不含医用软件);软件开发;软件咨询;销售机械设备、位器仪表、电子产品。(市场主体依法自主选择经营项目。开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
北京镭测科技有限公司
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