双频激光干涉仪LH3000测高精度位移台
图中是为高精度位移台客户校准机床的线性定位精度,客户导轨总长500mm,2mm一个步距,精度要求要校准到800nm,图中使用的是双频激光干涉仪LH3000,目前机床领域的国内最高精度,双频对于单频测量来说,它的测量精度更高,抗干扰能力更强,这是基于本身原理的不同,很多国内的公司,会误导客户说自己家也是双频的干涉仪,其实是双频稳频不是双频测量,在1um精度左右的测量,很多单频是达不到的。
在图中先搭建好硬件通上电,然后搭建光路(干涉仪就是通过光的频差测量),让光路跟客户要测的设备匹配上,打开软件,采集客户目前的线型定位数据,然后用分析软件进行分析,最后导入客户的机床进行补偿,最后再测一遍进行复检。
总体流程操作大概再1-3个小时左右,其中环境的影响也会对测量造成影响,比如空气中的粉尘,空气温度对材料造成的膨胀,测量周围的振动,比如其他机床的运行等,这些在测量中都需要注意。
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