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产品简介：
高精度痕量气体分析仪（TGA-323）是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氯化氢(HCl)而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有超高的灵敏度，其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。
该分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氯化氢(HCl)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。
光腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。
产品特点：
（1）ppt级别的灵敏度、精度以及准确度
（2）免标定，低漂移
（3）响应时间快
（4）连续监测
（5）无耗材成本
应用领域：
半导体行业AMC连续监测、洁净室监测、FOUP监测。
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企业名称
浙江灵析光电技术有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91330108MABMBAGP0A
成立日期
2022-05-16
注册资本
壹仟万元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;环境监测专用仪器仪表制造:仪器仪表制造;实验分析仪制制造;环境保护专用设备制造;环境应急检测仪器仪表制遣;水质污染物监测及检测收器仪表制造;大气污染监测及检测仪器仪表制造;生态环境监测及检测仪器仪表制造;温室气体排故控制装备制造;环境监测专用仪器仪表销售;仪器仪表销售;实验分析仪器销售;环境保护专用设备销售;环境皮急检测仪器仪表销售;水质污染物监测及检测仪器收表销售;大气污染监测及检测仪器收表销售;生态环境庄测及检测收翤仪表销售;温童气体排故控制装备销售;环境保护监测;环保咨询服务;环墙虚意治理服务;软件开发;软件销售;计算机系统服务;货物进出口除依法须经批准的项目外,凭营业执用依法自主开展经营活动).
浙江灵析光电技术有限公司
公司地址
浙江省杭州市滨江区滨安路760号
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