本装置为高真空蒸镀设备,因此可对应搭载JA Wollam公司制造的橢偏仪而开发设计的蒸镀机。真空蒸镀过程中,配设橢偏仪以取得相关物性物理资讯。(以下的规格是记载除氧偏仪以外的高真空蒸镀机规格)
本蒸发镀膜装置搭载的是JA Wollam公司的椭偏仪,真空腔大小:280x410x290mm,蒸发源:2个,最大基板尺寸:80x80mm
Reference:
D.Yokoyama and C.Adachi: J.Appl.Phys. 107,123512(2010)
D.Yokoyama, K.Nakayama, T.Otani, and J.Kido: Adv.Mater. 24,6368(2012)
企业名称
北京锐雪科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人独资)
信用代码
91110117MA7HLGKK4W
成立日期
2022-01-27
注册资本
100万元
经营范围
技术推广服务;技术开发;技术咨询;技术转让;技术推广;技术服务;销售仪器仪表、电子产品、日用品、文化用品、机械设备、建筑材料、金属材料、五金交电、化工产品、计算机软硬件及外围设备、医疗器械I类;机械设备租赁;经济贸易咨询;承办展览展示活动;会议服务;代理进出口、货物进出口、技术进出口。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;代理进出口、货物进出口、技术进出口以及依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)