核心参数
仪器种类: 落地式/传统大型
电子枪种类: 钨灯丝
产地类别: 国产
二次电子图象分辨率: 3.0nm
放大倍数: 1X-1000,000X
加速电压: 30kv
背散射电子图像分辨率: 4nm
最大样品尺寸: 250mm
样品室可拓展接口数量: 10个
样品台: 五轴电机驱动,X=120 mm,Y=115 mm,Z=48 mm
检测器系统: 二次电子探测器,背散射探测器
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