核心参数
曝光模式: 接近式
产地类别: 国产
分辨率: 200nm
光源: 激光
光强均匀性: 10nm
曝光面积: 100*100nm
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超高速高精度双光子聚合微纳无掩模光刻直写系统-----国家级实验室的技术
型号 | S600 |
典型加工线宽 | 200nm |
最小加工分辨率 | 200nm |
特征结构加工均匀度 | 10nm |
最高加工产率 | 60mm2/min |
加工尺寸 | 标配100×100mm 可选配最大300×300mm |
电力要求 | 220V AC 50HZ |
超高速高精度双光子聚合微纳无掩模光刻直写系统应用领域:
工业:无掩膜版制造、医疗器械、晶圆级微纳加工、光子封装、快速原型制作、小批量系列生产
生物医学应用:细胞支架、皮肤/组织模型、智能/活体材料、微针阵列、药物输送载体、纳米/柔性机器人、血管模型、细胞力学和迁移的拓扑结构、生物传感器、亚微米级图案设计
科研:生命科学、材料工程、微流控技术、微纳力学及MEMS、折射微光学、衍射为光学、集成光子学、光学传感、量子技术
超高速高精度双光子聚合微纳无掩模光刻直写系统材料:
光刻胶:生命科学用光刻胶、石英玻璃光刻胶、光刻负胶、无机固态光刻胶、有机无机杂化光刻胶、功能性光刻胶等
联系人:平生
企业名称
深圳市不死鸟科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300311955402P
成立日期
2014-08-21
注册资本
500000
经营范围
微纳制造设备: 高精度双光子微纳激光直写系统、高精度双光子微纳激光3D打印机、微纳3D打印机