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核心参数
仪器种类： 高真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 最大支持4英寸
温度范围： 1200℃
最高升温速率： 150℃/s
降温速率： 1200℃→400℃: 裸片600℃/min(双石墨盘130℃/min)
退火温度准确性： ±0.5℃(RT-1000℃) ±1℃(1000-1200℃)
退火温度均匀性： ≤1.5% 设定温度
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快速退火炉RTP-3-04系列采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸样品）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到**的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。
可测大尺寸样品：可测单晶片样品的尺寸为4英寸。
可远程操作：提供远程监控模块。
压力控制系统创新设计：高精度控制压力，以满足不同的工艺要求。
存储热处理工艺：方便工艺参数调取，提高实验效率，数据可查询。
快速控温与高真空：升温速率可达150℃/s，真空度可达到10-3Pa。
程序设定与气路扩展：可实现不同温度段的精确控制，进行降温段的自动转接，并能够对工艺菜单进行保存，方便调用。采用MFC精确控制气体流量，实现不同气氛环境（真空、氮气等）下的热处理。
独特的腔体空间设计：保证大尺寸样品的温场均匀性 ≤1.5%。
全自动智能控制：采用全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空、冷却水等均可实现自动控制。
超高安全系数：采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障设备使用安全。
金属电极合金化
硬质合金薄膜去应力退火
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材料再结晶、晶化
热氧化、热氮化
ITO膜致密化
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太阳能电池片键合
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其他热工艺需求
企业名称
武汉嘉仪通科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91420100691878284D
成立日期
2009-08-19
注册资本
1023
经营范围
仪器、仪表、光电产品、工业自动化产品、实验室产品、工业控制系统及软件的设计、研发、制造、销售、技术服务；货物进出口、技术进出口(不含国家禁止或限制进出口的货物或技术)。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动
嘉仪通科技
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武汉市东湖高新区高新大道999号未来科技城
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