适用领域:
1)半导体制造工程发生的有害Gas等安全处理的吸附式 Gas 处理装置
2)适用:半导体 Dry Etch,Diffusion,Ion Implantation,Cleaning Gas,BPSG, Oxide,MOCVD,ETC
特长及特点:
a.吸附式更换费用低廉—吸附剂直接开发
b.Gas 处理效率高—高效的吸附能力
c.By—Pass Canister 设置—有害Gas正常设置
d.Canister 内部温度监控—内部加热反应监控
e.有效力的压力管理—Inlet 压力 Warning, Alarm,Interlock 装置
f.Compactly Design—安装空间占用小面积
g.System 简易化—售后服务容易化
化学吸附剂介绍:
适用:半导体 Dry Etch,Diffusion,Ion Implantation,Cleaning Gas,BPSG, Oxide,MOCVD,ETC
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企业名称
深圳市利微成科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
440300212089855
成立日期
2020-11-24
注册资本
500
经营范围
半导体设备的研发、销售及上门安装;尾气处理吸附材料、净化材料、密封材料、净化耗材、净化设备机电设备、自动化设备、仪器仪表、阀门管件、电子产品、工控自动化设备的研发、销售;电子工程、生物工程、环保工程、机电工程、洁净室净化工程的设计、施工;电子设备、环保设备、机电设备、洁净室净化设备的研发与销售;经营电子商务;国内贸易,经营进出口业务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:无
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公司地址
深圳市龙华区观湖街道观盛五路
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