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核心参数
仪器种类： 进口等离子体表面处理仪
射频频率： 13.56MHZ
功率： RF射频功率标配75W，可选配到150W
设备尺寸： W500, H300, D430mm
样品腔容积： 5.6L
样品腔材质： 高纯度石英
工作气体： 空气、氧气，氮气，氩气等多种气体及混合气体；
控制方式： 触摸屏控制，等离子自动点火
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一、Tergeo等离子清洗机主要配置：
| 产品型号 | Tergeo | Tergeo Plus |
| 腔室大小 | 内径φ110mm,深度280mm | 内径φ160mm,深度280mm |
| 腔室材质 | 高纯度石英玻璃，相对于派瑞克斯（Pyrex）玻璃有着更强地耐腐蚀性和更少地碱杂质； | |
| 常用气体 | 空气，氧气，氢气，氩气，氮气和其他混合气体 | |
| 气路控制 | 标配两路MFC，可选配三路MFC； | |
| 射频频率 | 13.56 MHz，远高于同条件下KHz频率所产生的等离子密度； | |
| 射频功率 | Tergeo 0~75W连续可调，可选配到150W； Tergeo Plus标配150W，可选配到300W和500W； 射频功率可以以 1 瓦的间隔进行调整； | |
| 程序设置 | 共有20个可设置的程序配方，工作顺序中最多有三个清洁步骤。 | |
| 用户界面 | 7英寸电阻触摸屏，可用手指触摸，无需手写笔。 | |
| 操作方法 | 自动配方执行：自动工作序列执行;手动操作。 | |
二、Tergeo等离子清洗机主要用途：
1、清洗纳米级样品；
2、蚀刻光刻胶，除渣、硅片清洗；
3、引线键合倒装芯片底部填充，器件的封装和解封；
4、PDMS/微流控/载玻片/芯片实验；
5、改善金属与金属或复合材料的结合；
6、激活聚合物上的官能团，实现亲水或疏水润湿性，提高粘合强度和可印刷性，促进医疗设备的生物相容性。
武汉月忆神湖科技有限公司简称“武汉月忆"，是中国大陆的一家创新型科技公司，总部位于九省通衢-湖北武汉。
主营实验室仪器、试剂耗材等，旨在为半导体芯片制造、MEMS、钙钛矿太阳能电池以及微流体芯片制造等领域的广大科研工作者提供专业的解决方案和性能优异的产品，在仪器仪表－实验仪器装置行业获得广大客户的认可。
公司秉承“精工品质，用心服务"的经营理念，坚持“以客户服务为中心"的原则为广大客户提供优质的服务。
“买仪器 选月忆"，欢迎您来电垂询！
企业名称
武汉月忆神湖科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91420107MA49LQ6M6N
成立日期
2020-10-13
注册资本
300
经营范围
一般项目：计算机软硬件的技术开发、技术推广、技术转让；教学设备、实验器材销售（出许可业务外，可自主经营法律法规非禁止或限制的项目）
武汉月忆神湖科技有限公司
公司地址
武汉市青山区冶金大道180号2号楼办公室226室
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公司名称： 武汉月忆神湖科技有限公司
公司地址： 武汉市青山区冶金大道180号2号楼办公室226室 联系人： 赛经理 邮编： 430000
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