型号

CS200-H

阀类型

常闭

无

流量规格(N2)

(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30)  SLM

准确度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 1sec

工作压差范围

0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.1～0.35MPa 流量规格＞10SLM

＜0.02 MPa

最大工作压力

0.45MPa

温度系数

零点: ≤±0.1% F.S./℃；调节时: ≤±0.1% F.S./℃

耐压强度

3MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

金属密封

工作环境温度

质量流量控制器/流量计:（90～120）℃；控制盒:（0～50）℃

输入信号

数字: RS485 或 DeviceNet
模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA

无

输出信号

数字:RS485或 DeviceNet  
模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA

零漂

在没有零点校正时＜0.6%F.S./年

电源

±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极)

表面化学成分

Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 （埃）

表面粗糙度

10 Ra

标准接头形式

双卡套φ6；双卡套1/4；VCR1/4阳接头；1.5′′C型密封接头
1.5′′ W型密封接头

电源接头形式

D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头

连接高温电缆

2m

重量

1.2Kg

1Kg