NS3500 Solar 半导体晶圆质量检测系统

NS3500 Solar 半导体晶圆质量检测系统

NS-3500 Solar 是一种可靠的三维(3D)测量高速共焦激光扫描显微镜(CLSM)。通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，可以为半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等提供各种解决方案。

Features & Benefits（性能及优势）：

• 高分辨无损伤光学3D测量                               自动倾斜补偿

• 实时共焦成像                                                 简单的数据分析模式

• 多种光学变焦                                                 双Z扫描

  大范围拼接                                                    半透明基材的特征检测

• 实时CCD明场和共聚焦成像                            无样品准备

• 自动聚焦

•   

Application field（应用领域）：

NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。

可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如

-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺

- FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度

- MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形

-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案

-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析

Specifications(规格）:

注1:精细扫描由压电执行器（PZT）执行。

注2 :以100×/ 0.95物镜对标准样品（步长1μm）进行100次测量。